洁净无尘室的分类

   洁净无尘室之分类：

   乱流式：空气由空调箱经风管与洁净室 无尘室内之空气过滤器进入洁净无尘室，并由洁净室 无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室 无尘室等级1,000-100,000级。构造简单、系统建造成本，洁净室 无尘室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室 无尘室等级。
　
   层流式： 层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室 无尘室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室 无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：

                  1、水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。 构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
　　
                  2、垂直层流式：洁净室 无尘室房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。 管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。--洁净无尘室
　　
   复合式：将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

   若能彻底实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。

   在最高等级的无尘室中从天花板到地面，完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时，空气的流向也必须要有精确的控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻，因为在流通路径中有障碍物的话，容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在无尘室内，而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。--洁净无尘室